使用全息照相技術(shù)制作的光柵。
在光學(xué)穩(wěn)定的平玻璃坯件上塗上一層給定型厚度的光致抗蝕劑或其他光敏材料的塗層。由激光器發(fā)生兩束相幹光束,使其在塗層上産生一系列均勻的幹涉條紋,則光敏物質(zhì)被感光。然後用特種溶劑溶蝕掉被感光部分,即在蝕層上獲得幹涉條紋的全息像。所制得爲(wèi)透射式衍射光柵;如在玻璃坯背面鍍一層鋁反照膜後,可制成反照式衍射光柵。
這種方法制造的光柵線槽密度高,劃面寬度大,刻線可達(dá)3663~4234條mm,面積可達(dá)165×320mm2。
全息光柵沒有鬼線和像散,雜散光小,可排除機刻光柵的固有缺點,其實際辨別本領(lǐng)可達(dá)理論辨別本領(lǐng)的80%~100%